eyc-tech 傳感器解決方案，助力半導體產業效率升級！
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半導體產業的現況與節能挑戰
全球半導體產業正面臨高速發展與永續經營的雙重挑戰。隨著 AI、5G、自動駕駛等技術應用的擴展，對於高效能晶片的需求不斷攀升，使得IC 設計、晶圓加工（Wafer Fabrication）、測試與封裝（IC Test & Package）等關鍵流程變得更加重要。其中，晶圓製程需要控制在極高的環境條件，例如無塵室的空調系統、製氮系統、氣體與冷卻系統的管理等，都對工廠的運行成本與碳排放造成影響。因此，如何透過精準監測與智慧化管理來提升生產效率、降低能耗，已成為半導體業關注的核心議題。
晶圓加工（Wafer Fabrication）
在晶圓製造的過程中，單晶矽製造、晶圓加工、洗淨、配線，再到測試中，涉及多個高精度、高潔淨度的環境要求，傳感器技術在監測上發揮著關鍵作用。
1. 無塵室環境監測
晶圓製程需要在嚴格受控的環境中進行，無塵室內的溫度、濕度、差壓與流速直接影響製程穩定性，同時也影響晶圓品質。透過 THS30X 系列 多功能溫濕度傳感器，提供高精度、多種安裝方式的選擇，可確保環境條件維持在最佳範圍內；PMD330 差壓傳感器採用壓阻式差壓感測器，非導通結構，壓力端口之間不流通，可用於監測潔淨區域的氣流方向，確保污染物不進入關鍵製程區域；FTS34 熱線式風速傳感器則可監控層流氣流的穩定性，透過偵測低至0.2 m/s的微小風速，可防止微粒污染。
>>無塵室環境量測首選；eyc-tech傳感器
2. 冷卻與空調系統節能
晶圓製造設備產生大量熱能，需要高效冷卻系統來維持溫度穩定。透過 FTC05 熱線式流量開關與THS307 多功能溫濕度傳感器(戶外型) 監測冷卻水循環效率，調節空調冷能輸出大小，可實現精準控制，避免能源浪費。此外，搭配使用 DPM04 瞬間量累積量顯示控制器可提供即時瞬間量及累積量的數據，幫助廠商優化空調與製冷系統，降低整體能源消耗。
>>精準監控 智慧節能：HVAC系統優化與節能解決方案
3. 晶圓氧化鍍膜
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在晶圓洗淨過後，為了避免顆粒及其他異物再次汙染晶圓，將在晶片表面進行鍍膜。
鍍膜又分成化學氣相沉積法 (CVD) 和物理氣相沉積法 (PVD) 兩種，其中手套箱是大多會用來操作鍍膜的系統。 |
精密製程上的手套箱系統，腔體內部的水/氧含量濃度的維持率是關鍵的技術指標，其中常見的水/氧含量濃度要求為小於 1 PPM、3 PPM 及 5 PPM，是製程上最為重要的要求條件，其濃度指標是否合乎標準，是直接影響產品良率的關鍵。所以建議在手套箱系統內部腔體加裝 THS88MAX 工業級低濕露點傳感器，以偵測內腔環境的水含量濃度，一般對於傳感器的要求為 0~1000PPM，能讓業主自由設定，以達到無水無氧的高品質穩定的製程環境。
晶圓儲存/封裝
1. 製氮系統與氣體供應監測
惰性氣體 - 氮氣（N₂）廣泛應用於晶圓製造過程，如蝕刻、鍍膜與封裝等關鍵步驟，可避免金屬氧化的問題。專用於壓縮空氣系統的FTM06D 熱線式風速風量傳感器可即時監測氮氣供應量，確保氣體穩定供應；P064 顯示型差壓傳感器則可監測氣體管線壓力，避免異常情況影響生產；THS88MAX 露點傳感器套件具有即插即用的便利性，還可直接檢視量測數據，則可確保氮氣的乾燥程度，避免水分影響製程品質。
2. 化學品與廢氣排放監測
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晶圓製造涉及多種高純度化學藥劑，如蝕刻液、光阻劑等，其廢氣需經過嚴格處理後排放。 |
結論
半導體產業的發展對環境控制與能源管理提出更高的要求，而傳感器技術則是提升製程品質與穩定性的重要工具。透過在無塵室、製氮系統、冷卻設備與廢氣處理等環節的精準監測，可有效提高生產效率、降低運營成本，並朝向更永續的製造模式邁進。未來，隨著智慧工廠與 AIoT 技術的進步，傳感器在半導體製程中的應用將更加深入，為產業帶來更高效、綠色的生產解決方案。
THS30X 系列 多功能溫濕度傳感器
特色：適用於輕工業，精度高，多種安裝方式
感測器種類：電容式濕度傳感器 & Pt 100 A級
量測範圍：-40...+80°C / 0 ... 100%RH
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485
精度：±0.2°C / ±1.8%RH
防護等級：IP65
PMD330 差壓傳感器 (室內型)
特色：適用於醫院及無塵室監測、量測範圍廣
量測元件：壓阻式差壓感測器，非導通
量測範圍：±50 ... ±10000 pa
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485
精度：±2.0% F.S.
防護等級：IP65
P064 顯示型差壓傳感器
特色：適用於工業級應用，可量測液體差壓
感測器種類：單晶矽差壓感測器
量測範圍：0.1 ... 25 bar
輸出：4 ... 20 mA+HART
精度：0.075 ... 0.2%
防護等級：IP65
FTC05 熱線式流量開關
特色：適用於油、水或其他流體之監控，也可作為液位計使用
感測器種類：電阻溫度感測器
量測範圍：1 ... 200 cm/s(水)、3 ... 300 cm/s(油)、6 ... 20 m/s(氣體)
輸出：PNP / NPN / Relay
防護等級：IP65(Option IP67)
THS88MAX 工業級低濕露點傳感器
特色：適用於空壓系統、工業乾燥系統
感測器種類：電容式濕度傳感器 & Pt100
露點規劃範圍：-80 ... +20 dp°C
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485
精度：±1 ... ±2 dp°C
防護等級：IP65(本體) / IP20(測頭)
DPM04 瞬間量累積量顯示控制器
特色：2" LCD螢幕，能搭配氣體/液體流量傳感器，顯示瞬間及累積量，具RS-485通信及Relay 輸出功能
顯示值範圍：瞬間量：5位，累積量：8位
輸入：電流 / 電壓 / Frequency / Pulse
輸出：電流 / 電壓 / Relay / RS-485
精度：±0.1% F.S. ±1 digit
防護等級：IP65 (前面板)
FTS34/35 熱線式風速傳感器
特色：適用於輕工業，精度高、穩定性佳
感測器種類：熱線式質量流量傳感器
量測範圍：0 ... 40 m/s
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485
精度：±2% F.S.
防護等級：IP54
FTM06D 熱線式風速風量傳感器
特色：適用於乾燥壓縮空氣系統
感測器種類：熱線式質量流量傳感器
量測範圍：0 ... 120 Nm/s
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / Frequency / Pulse
精度：±1.5% F.S.
防護等級：IP65
FTM94/95 工業級高精度熱線式風速風量傳感器
特色：適用於工業級應用，可測大風量，耐高溫高壓、粉塵和腐蝕
感測器種類：Pt20 / Pt300(風速) / Pt1000(溫度)
量測範圍：0 ... 120 Nm/s
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / Impulse
精度：±1.5% F.S.
防護等級：IP67(測棒) / IP65(本體)