eYc 半導體CVD製程應用手套箱系統露點量測解決方案

eYc半導體CVD製程應用手套箱系統露點量測解決方案

背景介紹

工業領域如半導體CVD、光電、機械、奈米電子等精密製程，對系統設備的高潔淨度與高純度的環境標準十分要求，常見的手套箱系統是大多精密工業會採用的製程系統，其系統包含物理隔絕真空腔體、進氣及出氣的循環氣體淨化設備、調節水/氧濃度的乾燥裝置、和即時控制的顯示設備所組成，其嚴苛的環境條件，能保護實驗室環境及物料不受污染，有助於維持及提升精密工業製程的產品良率，例如使用惰性氣體的氮氣手套箱，可用來處理環境敏感性材料。

《手套箱系統架構》

應用說明

精密製程上的手套箱系統，腔體內部的水/氧含量濃度的維持率是關鍵的技術指標，其中常見的水/氧含量濃度要求為小於1 PPM、3PPM及5PPM，是製程上最為重要的要求條件，其濃度指標是否合乎標準，是直接影響產品良率的關鍵。所以許多企業會在手套箱系統內部腔體加裝露點傳送器，以偵測內腔環境的水含量濃度，一般對於sensor的要求為0~1000PPM，能讓業主自由設定，以達到無水無氧的高品質穩定的製程環境。

產品導入優點

eYc THS88 Plus工業級高壓露點傳送器，使用工業級防結露晶片，耐壓16 bar，專門設計用於要求嚴苛的高溫低濕應用領域，如半導體、CDA工業乾燥系統、壓縮空氣系統、金屬熱處理等。eYc THS88 Plus露點工作範圍-80~+60 dp ℃，具備露點轉換其它物理量範圍功能，例如絕對濕度(體積) 0~50000PPM/V及絕對濕度(重量)0~50000PPM/W，線性精度在±2 dp ℃ (at +25℃) ± (0.02%F.S/℃)，及溫度補償和線性修正功能，使用IP67 M12電氣連接座及IP65防塵防水保護等級的SUS304或316金屬外殼。

與業界他牌露點計相比，THS88 Plus只需半小時即能快速到達穩定狀態進行量測(如下方反應速度比較圖)，成功達成即時偵測腔體內部的水/氧含量濃度，在嚴峻的工業環境仍保持高精確度和極佳的長期穏定性。

THS88高壓露點傳送器升級前V.S.升級後反應速度比較圖

比較基準點 :
測試環境1 : 同樣在氧化鋁乾燥桶環境下進行測試
測試條件2 : 同樣都是由20 dp°C往下測試

>> eYc THS88(升級前) : 經過1小時後才到-34.9 dp°C，需再經過大約3小時才可達穩定狀況進行量測。

《eYc THS88 Plus高壓露點傳送器的反應速度圖》

>> eYc THS88 Plus(升級版) : 只需半小時即可快速到達穩定狀態進行量測，經過1小時後即快速到達-66.9dp°C。(點擊下圖即可放大)

在監控上，標配訊號輸出ModBus RTU通訊協定，RS-485通訊介面，以及多種類比輸出訊號0-1V/0-5V/1-5V/0-10V/2-10V/0-20mA/4-20Ma滿足廣泛需求。在安裝上，提供多種規格的連接牙可供選擇。

為提升製程上的測量效率及節省成本，提供獨家免費專用智慧圖控規劃軟體SMART-UI，具有可調整規劃露點範圍、及多種物理量選擇-露點/霜點/絶對濕度等功能的產品附加價值。

eYc THS88 Plus工業級高壓露點傳送器，已被許多精密工業應用於手套箱系統製程上，成功幫助企業製程上的水/氧含量濃度的監測，維持及提升產品良率。

產品資訊

eYc THS88 Plus 工業級高壓露點傳送器 >> 2018全新升級版，速度更快、更穩定!

適用工業領域

化學研究	物理研究	OLED研究	特種焊接
鋰電池研發與生產	特種燈研發與生產	催化劑研究與生產	新材料研究與生產
醫藥行業	核工業技術	半導體CVD製程	精細化工
生物實驗與研究	粉末金屬	電子行業