eYc 半導體CVD製程應用 手套箱系統露點量測解決方案

eYc半導體CVD製程應用 手套箱系統露點量測解決方案

eYc 半導體CVD製程應用 手套箱系統露點量測解決方案


背景介紹

工業領域如半導體CVD、光電、機械、奈米電子等精密製程,對系統設備的高潔淨度與高純度的環境標準十分要求,常見的手套箱系統是大多精密工業會採用的製程系統,其系統包含物理隔絕真空腔體、進氣及出氣的循環氣體淨化設備、調節水/氧濃度的乾燥裝置、和即時控制的顯示設備所組成,其嚴苛的環境條件,能保護實驗室環境及物料不受污染,有助於維持及提升精密工業製程的產品良率,例如使用惰性氣體的氮氣手套箱,可用來處理環境敏感性材料。


《手套箱系統架構》

手套箱系統架構


應用說明

精密製程上的手套箱系統,腔體內部的水/氧含量濃度的維持率是關鍵的技術指標,其中常見的水/氧含量濃度要求為小於1 PPM、3PPM及5PPM,是製程上最為重要的要求條件,其濃度指標是否合乎標準,是直接影響產品良率的關鍵。所以許多企業會在手套箱系統內部腔體加裝露點傳送器,以偵測內腔環境的水含量濃度,一般對於sensor的要求為0~1000PPM,能讓業主自由設定,以達到無水無氧的高品質穩定的製程環境。

手套箱系統,腔體內部的水/氧含量濃度的關鍵的技術指標


產品導入優點

eYc THS88 Plus工業級高壓露點傳送器,使用工業級防結露晶片耐壓16 bar,專門設計用於要求嚴苛的高溫低濕應用領域,如半導體、CDA工業乾燥系統、壓縮空氣系統、金屬熱處理等。eYc THS88 Plus露點工作範圍-80~+60 dp ℃,具備露點轉換其它物理量範圍功能,例如絕對濕度(體積) 0~50000PPM/V及絕對濕度(重量)0~50000PPM/W,線性精度在±2 dp ℃ (at +25℃) ± (0.02%F.S/℃),及溫度補償線性修正功能,使用IP67 M12電氣連接座IP65防塵防水保護等級的SUS304或316金屬外殼

與業界他牌露點計相比,THS88 Plus只需半小時即能快速到達穩定狀態進行量測(如下方反應速度比較圖),成功達成即時偵測腔體內部的水/氧含量濃度,在嚴峻的工業環境仍保持高精確度極佳的長期穏定性


THS88高壓露點傳送器 升級前V.S.升級後 反應速度比較圖

比較基準點 : 
測試環境1 : 同樣在氧化鋁乾燥桶環境下進行測試
測試條件2 : 同樣都是由20 dp°C往下測試

>> eYc THS88(升級前) : 經過1小時後才到-34.9 dp°C,需再經過大約3小時才可達穩定狀況進行量測。

eYc THS88(升級前) 反應速度圖


《eYc THS88 Plus高壓露點傳送器的反應速度圖》

>> eYc THS88 Plus(升級版) : 只需半小時即可快速到達穩定狀態進行量測,經過1小時後即快速到達-66.9dp°C。(點擊下圖即可放大)

eYc THS88 Plus (升級版) 反應速度圖


在監控上,標配訊號輸出ModBus RTU通訊協定,RS-485通訊介面,以及多種類比輸出訊號0-1V/0-5V/1-5V/0-10V/2-10V/0-20mA/4-20Ma滿足廣泛需求。在安裝上,提供多種規格的連接牙可供選擇。


為提升製程上的測量效率及節省成本,提供獨家免費專用智慧圖控規劃軟體SMART-UI,具有可調整規劃露點範圍、及多種物理量選擇-露點/霜點/絶對濕度等功能的產品附加價值。

eYc 免費專用智慧圖控規劃軟體SMART-UI


eYc THS88 Plus工業級高壓露點傳送器,已被許多精密工業應用於手套箱系統製程上,成功幫助企業製程上的水/氧含量濃度的監測,維持及提升產品良率。

 

產品資訊

eYc THS88 Plus 工業級高壓露點傳送器 >> 2018全新升級版,速度更快、更穩定!

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適用工業領域

eYc THS88 Plus 應用領域

化學研究

物理研究

OLED研究

特種焊接

鋰電池研發與生產

特種燈研發與生產

催化劑研究與生產

新材料研究與生產

醫藥行業

核工業技術

半導體CVD製程

精細化工

生物實驗與研究

粉末金屬

電子行業

 


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