RH Systems G3 濕度產生器

• 超低 -120 °C FP 至 +10 °C DP
• 真空絕緣/隔離飽和器和控制閥
• 通用電源輸入，100-240 VAC，5-060 Hz
• 混合雙溫雙壓原理
• 雙無 CFC 低溫冷卻器
• 1 到 3 個獨立的流量控制輸出

多個流量控制輸出
G3 提供多達 3 個獨立的流量控制輸出。每路輸出流量可達5升/分鐘，總組合流量可達10升/分鐘。

超低範圍能力
基於高效的雙低溫冷卻機制，G3 能夠產生超低濕度，實現低於 1 PPB（十億分之一）的濕度濃度。

G3 是一種低濕度發生器，將基本管道、壓力調節器、流量調節器和飽和器封裝在一個密封的真空室內。真空室的使用消除了大氣水蒸氣的滲透，並且無需在熱控部件內部和周圍使用隔熱材料。此外，斯特林低溫冷卻器（更準確地說是自由活塞斯特林冷卻器）用於冷卻飽和器。

通過這些對傳統設計的改進，G3 在低濕度條件下具有更好的精度和性能，這是由於滲透效應降低、隔熱和控制得到改進、冷卻速度更快以及維護更方便。

工作原理
混合濕度發生器結合了 NIST 驗證的兩壓和兩溫濕度生成原理的特點。利用這些原理，在給定飽和溫度下，相對於水的液相或固相，處於高壓的氣流是飽和的。這裡，飽和溫度是與載氣混合的水蒸氣量的主要決定因素。飽和器內的壓力是混合物載氣量的主要決定因素。離開飽和器後，加濕氣流（由與載氣混合的水蒸氣組成）隨後膨脹至較低壓力並在使用點（例如被測設備 (DUT)）升溫至備用溫度。然後測量飽和器內的壓力和溫度，以及膨脹後的壓力和溫度（通常在 DUT 處），然後用於確定氣流的最終濕度含量。然後通過調節飽和器內的溫度和壓力來精確控制濕度。

使用雙壓力技術，通過在已知溫度和壓力下使氣體完全飽和，然後在相同溫度下將壓力降低到較低值（通常是環境）來產生濕度。該技術產生的濕度僅通過溫度和壓力的測量來確定，而不依賴於水蒸氣含量的測量。

產生的濕度輸出：
水蒸氣濃度範圍 霜/露點溫度範圍 <1 PPB … 12000 PPM
霜/露點溫度穩定性 -120°C FP … ±10°C
霜/露點溫度精度
±0.05°C
±0.1°C (FP >-70°C)
±0.3°C (-70°C>FP>-100°C)
±0.6°C (-100°C>FP)
生成的流量輸出：
氣體流量範圍，每個輸出 1 到 3 個輸出，每個輸出 0 … 5 slpm
氣體流速範圍，總 0 … 10 slpm
氣體流量精度 ±0.2slpm
氣體流量穩定性 ±0.1slpm
溫度：
飽和溫度控制範圍 -120°C … +20°C
飽和溫度控制精度 ±0.05°C
飽和溫度控制穩定性 ±0.03°C
測試溫度連接 2 個外部溫度連接
測量精度 ±0.05°C
探頭類型 Pt100，4 線
壓力：
飽和壓力控制範圍 接近環境壓力至 1 MPa (150 psia)
飽和壓力精度 ±0.05% FS **
測試壓力測量範圍 0.07 … 0.12 MPa (11 … 17 psia)
測試溫度連接 2 個外部溫度連接
測試壓力精度 ±0.05% FS **
實用要求：
供氣 0.3 … 1MPa @ 10 slpm。最大壓力 3 MPa
氣體類型 乾燥空氣或氮氣
電源電壓 100-240 VAC，50/60 Hz，單相
功耗 1.5kW
環境的：
工作溫度 +15 …+40 °C
儲存溫度 0 …+50 °C
濕度 10 …95 %RH，無冷凝
重量和尺寸：
高度 1.2m
寬度 0.8m
深度 0.8m
運輸重量 318 公斤