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超低 -120 °C FP 至 +10 °C DP
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真空絕緣/隔離飽和器和控制閥
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通用電源輸入,100-240 VAC,5-060 Hz
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混合雙溫雙壓原理
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雙無 CFC 低溫冷卻器
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1 到 3 個獨立的流量控制輸出
多個流量控制輸出
G3 提供多達 3 個獨立的流量控制輸出。每路輸出流量可達5升/分鐘,總組合流量可達10升/分鐘。
超低範圍能力
基於高效的雙低溫冷卻機制,G3 能夠產生超低濕度,實現低於 1 PPB(十億分之一)的濕度濃度。
G3 是一種低濕度發生器,將基本管道、壓力調節器、流量調節器和飽和器封裝在一個密封的真空室內。真空室的使用消除了大氣水蒸氣的滲透,並且無需在熱控部件內部和周圍使用隔熱材料。此外,斯特林低溫冷卻器(更準確地說是自由活塞斯特林冷卻器)用於冷卻飽和器。
通過這些對傳統設計的改進,G3 在低濕度條件下具有更好的精度和性能,這是由於滲透效應降低、隔熱和控制得到改進、冷卻速度更快以及維護更方便。
工作原理
混合濕度發生器結合了 NIST 驗證的兩壓和兩溫濕度生成原理的特點。利用這些原理,在給定飽和溫度下,相對於水的液相或固相,處於高壓的氣流是飽和的。這裡,飽和溫度是與載氣混合的水蒸氣量的主要決定因素。飽和器內的壓力是混合物載氣量的主要決定因素。離開飽和器後,加濕氣流(由與載氣混合的水蒸氣組成)隨後膨脹至較低壓力並在使用點(例如被測設備 (DUT))升溫至備用溫度。然後測量飽和器內的壓力和溫度,以及膨脹後的壓力和溫度(通常在 DUT 處),然後用於確定氣流的最終濕度含量。然後通過調節飽和器內的溫度和壓力來精確控制濕度。
使用雙壓力技術,通過在已知溫度和壓力下使氣體完全飽和,然後在相同溫度下將壓力降低到較低值(通常是環境)來產生濕度。該技術產生的濕度僅通過溫度和壓力的測量來確定,而不依賴於水蒸氣含量的測量。