eyc-tech THM50X溫濕度傳感器｜半導體製程的絕對濕度與0.1%RH極低濕量測
eyc-tech THM50X溫濕度傳感器｜半導體製程的絕對濕度與0.1%RH極低濕量測
半導體製程對濕度的要求極為嚴苛，尤其在清洗後乾燥段、封裝前製程、惰性氣體置換區、濕度敏感物料儲放及關鍵環控區域，只要環境中的水分略有波動，良率就可能受到影響。若僅依賴相對濕度，容易因溫度變化產生誤判，進而無法掌握乾燥是否真正完成。因此，能直接呈現空氣中實際水蒸氣含量的絕對濕度，便成為更可靠的判斷依據。除了半導體之外，生技製藥的低濕製程、食品乾燥與熟成、化工高溫流程、實驗室與試驗箱，也同樣需要精準、穩定且反應快速的溫濕度傳感器。
THM50X 溫濕度傳感器可直接量測絕對濕度，並同時提供溫度、相對濕度與露點等多項濕度相關參數，讓工程師不只看到 %RH，而是能掌握「環境中真正有多少水」。搭配 0.1%RH 極低濕解析度、高溫耐受探棒與多參數同步顯示，使用者能在更複雜、更嚴苛的製程條件下仍維持判讀精準，確保製程的品質與穩定性。
多參數顯示(°C / %RH / dp°C / AH%)
同時顯示溫度、相對濕度、絕對濕度、露點等重要工程參數，讓工程師不需額外換算即可理解環境條件。透過直接顯示絕對濕度，使用者能更清楚地掌握乾燥程度與材料吸濕風險；相對濕度則提供溫濕平衡的補充資訊，使整體判讀更全面。利用同步顯示，現場能以更少的時間作出更精準的判斷。
AH% = 空氣中真正的水氣量，以 25°C 飽和值為基準定義也就是在 25°C 的最大含水量當作 100% 對應AH所換算出來的百分比。
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溫度 |
測得實際絕對濕度 |
絕對濕度百分比（AH%） |
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100 °C |
4.6 g/m³ |
(4.6 ÷ 23) × 100% = 20% |
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100 °C |
1.15 g/m³ |
AH% = 5%（乾燥良好） |
絕對濕度量測
直接量測空氣中的絕對濕度，真實呈現乾燥段與低濕環境中微小的水分變化。這讓工程師能清楚辨識乾燥是否達標，有效避免水痕、氧化、材料吸濕等潛在風險，特別適合半導體與生技等對含水量高度敏感的製程。0.1%RH極低濕量測
具備 0.1%RH 的極低濕量測能力，可在接近乾燥極限的環境中仍保持穩定輸出，使細微的濕度波動不會被忽略。這讓工程師能在製程尚未完全達到乾燥要求時即時發現異常，避免因水分殘留造成後續的品質風險。同時，極低濕解析度也提升了絕對濕度顯示的判讀精度，讓操作人員能以更可靠的資訊進行製程調校，確保敏感製程在低濕條件下維持最佳狀態。NPN／PNP 輸出訊號
具備 NPN／PNP 輸出訊號，可將量測狀態轉換成明確的開關量，直接提供給 PLC、警報器或製程設備的數位輸入端使用。透過清楚的訊號判斷，設備能在第一時間作出反應，減少因延遲造成的濕度偏差與製程風險，使整體環境調節更即時、更可靠。反應快速與結露回復
具備快速反應與結露後快速回復，即便突然出現高濕衝擊，也能在短時間內回到穩定狀態，避免因數據中斷造成判斷延遲，讓環境監控更加可靠。
感測器種類：Capacitive humidity sensor & Pt 100 A級
量測範圍：掛壁型：-40°C ... +80°C/分離型：-40°C ... +150°C
輸出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / NPN / PNP
精度：±0.1°C±0.002°Cxtactual / ±2%RH
防護等級：IP65 (本體)
2025-12-09